簡要描述：實驗室加熱型勻膠機。光刻膠等均勻涂布在晶圓上的裝置，一種納米膜噴涂設備。
產品型號：IC5000廠商性質：生產廠家更新日期：2024-11-06訪 問 量：2031產品參數：
1.轉盤加熱控溫范圍：室溫-150℃
2.溫度分辨率：0.1℃
3.控溫精度：＜±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度）
4.轉盤溫度均勻性：＜±2％
5.轉速范圍：100-5000rpm
6.轉速分辨率：±1rpm
7.加速度可調范圍：100-5000rpm/s
8.最大單步旋涂時長：3000s
9.時間分辨率：0.1s
10.最多可編程100組100步程序，更多可擴展
11.標配可調卡爪載物盤（10-30mm方片或圓片可調），其他規(guī)格可定制
12.外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)
IC5000控溫勻膠機是一款高性能實驗室勻膠機，采用了*進的設計理念，配合精密的運動控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作，并配有控溫系統(tǒng)，控溫均勻性好，可實現(xiàn)邊加熱邊勻膠功能，操作界面可存貯10組程序，每組程序可達10步。運行參數如轉速、轉動時間可實時顯示。
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