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半自動勻膠機(jī)

簡要描述:全新外觀設(shè)計,適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作
半導(dǎo)體顯影機(jī)
*進(jìn)的設(shè)計理念,模塊化設(shè)計
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性

  • 產(chǎn)品型號:AC200-CTM
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2024-11-06
  • 訪  問  量:3309

產(chǎn)品特點(diǎn)

全新外觀設(shè)計,適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作

*進(jìn)的設(shè)計理念,模塊化設(shè)計

可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運(yùn)動控制系統(tǒng),提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性


產(chǎn)品參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍:20-10000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率:±1rpm

加速度可調(diào)范圍:20-50000rpm/s

單步時長:3000s

時間分辨率:0.1s

適用基片尺寸:4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓,非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調(diào),可調(diào)范圍10-50mm

可添加背洗功能(根據(jù)客戶需求而定)




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