簡(jiǎn)要描述：鈣鈦礦鍍膜設(shè)備主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫、電控系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)等部分組成。
產(chǎn)品型號(hào)：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新日期：2024-11-06訪(fǎng) 問(wèn) 量：710
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 鍍膜室 | 不銹鋼材料，采用方形前后開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，內(nèi)帶有防污板，腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm |
| 真空排氣系統(tǒng) | 采用分子泵+機(jī)械泵系統(tǒng) |
| 真空度 | 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa |
| 系統(tǒng)漏率 | ≤1×10-7Pa |
| 蒸發(fā)源 | 安裝在真空室的下底上；有機(jī)蒸發(fā)源4個(gè)、容積5ml，2臺(tái)蒸發(fā)電源，可測(cè)溫、控溫，加熱溫度400℃，功率0.5KW；無(wú)機(jī)蒸發(fā)源4套、容積5ml，2臺(tái)蒸發(fā)電源，加熱電流300A，功率3.2KW；蒸發(fā)源擋板采用自動(dòng)磁力控制方式控制其開(kāi)啟 |
| 樣品架 | 安裝在真空室的上蓋上，可放置Ø120mm的樣品、載玻片，旋轉(zhuǎn)速度0-30rpm |
| 加熱溫度 | RT-180℃，測(cè)溫、控溫 |
| 膜厚控制儀 | 石英晶振膜厚控制儀，膜厚測(cè)量范圍0-999999Å |
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